製品紹介

フラットパネルディスプレイ製造関連装置

USクリーナー装置

FPDなどに付着した異物を非接触で超音波エアーを利用してクリーニングする装置

特徴・用途

ドライクリーナーで1.6μmの粉塵を100%除去できます。ドライ洗浄方式なので、水・薬液など使用しません。片面・両面のクリーニングが可能です。

型式	USC・USHシリーズ
用途	LCD,OLED,太陽電池パネルの製造

仕様の一例

項　目	仕　様
ステージサイズ	～第10世代まで対応
ステージ材質	各種対応(Ｃeramic)
突き上げピン材質	各種対応
突き上げピン駆動方法	CAM機構のPULSE MOTOR
突き上げストローク	50mm～105mm(固定）
吸着パッド	Φ15mm VITON製
ステージ駆動	BALL SCREW + AC SERVO MOTOR
ステージ速度	5～600mm/sec
設定方法	操作パネル内デジタル設定
クリーナーヘッド	各メーカー選定
ヘッド幅	有効長+α
基板厚み測定	設置
VCR	オプション
アライメント機構	オプション
除電対策	オプション