製品紹介

  1. ホーム
  2. 製品紹介
  3. フラットパネルディスプレイ製造関連装置
  4. 光配向基板走行装置
フラットパネルディスプレイ製造関連装置

光配向基板走行装置

光配向工程において紫外線光の下を一定速度で基板を走行させる装置

特徴・用途

高精度のヨーイング特性

型式 PAシリーズ
用途 FPD

仕様の一例

項　目 仕　様
搬送速度 5　～　500 mm/sec.
駆動方式 リニアモータ（またはボールねじ＋ACサーボモータ）
ステージ回転 ハーモニックギヤ＋ACサーボモータ
角度補正精度 ±0.01°以内
角度補正方式 CCDカメラによる画像処理、オートアライメントによる角度補正
ステージ走行精度 ±0.5mm 以内（振れ±0.05mm以内）
除電対策 フォトイオナイザ、除電バーを設置可能
F.F.U. ULPA、またはHEPA設置可能
偏光測定器 搭載可能
ステージ冷却 別途打ち合わせ

オプション

※検討時はお問合せください。