製品紹介

フラットパネルディスプレイ製造関連装置

ラビング装置

液晶分子を配向させるために、配向膜を一定方向、一定方位にラビングする装置

特徴・用途

TNからFFS(IPS)まで対応した装置G10.5基板まで対応。 ローラーとステージの高精度GAP、バランスよい高精度ローラー、安定した走行精度

型式 RLA・RLB・RLD・RLFシリーズ
用途 液晶配向膜配向処理

仕様の一例

項 目 仕 様
ラビング方式 ステージ駆動回転ラビング方式 シングルローラー型/ダブルローラー型
ステージ速度 1~800mm/sec
ステージ材質 フッソコート or セラミックス
ステージ駆動方法 ボールネジ or リニアモーター
ローラー回転数 1~2,000(3,000)rpm
ローラー材質 Aℓ or Aℓ/CFRP複合材質
ローラー角度 -47度~+47度
ローラーとステージの ギャップ精度 ±40μm(G8)
静電気制御 ・フォトイオナイザー・イオナイザー・加湿・斜め基板剥離・その他
その他(オプション) ※以下のオプション装置も相談に応じます ・偏心測定器・布貼り装置・ローラー自動交換・ローラー保管庫・ローラー台車・その他