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フラットパネルディスプレイ製造関連装置
ラビング装置
液晶分子を配向させるために、配向膜を一定方向、一定方位にラビングする装置
特徴・用途
TNからFFS(IPS)まで対応した装置G10.5基板まで対応。 ローラーとステージの高精度GAP、バランスよい高精度ローラー、安定した走行精度
| 型式 | RLA・RLB・RLD・RLFシリーズ |
|---|---|
| 用途 | 液晶配向膜配向処理 |
仕様の一例
| 項 目 | 仕 様 |
|---|---|
| ラビング方式 | ステージ駆動回転ラビング方式 シングルローラー型/ダブルローラー型 |
| ステージ速度 | 1~800mm/sec |
| ステージ材質 | フッソコート or セラミックス |
| ステージ駆動方法 | ボールネジ or リニアモーター |
| ローラー回転数 | 1~2,000(3,000)rpm |
| ローラー材質 | Aℓ or Aℓ/CFRP複合材質 |
| ローラー角度 | -47度~+47度 |
| ローラーとステージの ギャップ精度 | ±40μm(G8) |
| 静電気制御 | ・フォトイオナイザー・イオナイザー・加湿・斜め基板剥離・その他 |
| その他(オプション) | ※以下のオプション装置も相談に応じます ・偏心測定器・布貼り装置・ローラー自動交換・ローラー保管庫・ローラー台車・その他 |