技術情報

写真はAYM850S

概要

サブミクロン位置決めを追及した超高精度ステージ

特徴

• 高分解能：0.1μm（実働分解能）
• 長ストローク：XY:+/-10mm,Θ:+/-49mrad
• 高負荷：高推力タイプリニアーモーター採用
• 薄型、高剛性：ＵＶＷＲ方式（４軸駆動）

AYM850S 仕様

項目	仕様	備考
ステージ方式	UVWR方式
駆動方式	リニアモーター
ストローク	Ｘ軸：+/-10mm、Ｙ軸：+/-10mm Θ軸：+/-49mRad
実働分解能	Ｘ軸：0.1μm、Ｙ軸：0.1μm Θ軸：0.7μRad	設計負荷：400kg
ステージサイズ	850x850x190mm	薄型

精度: 0.1μmステップ送り（負荷100kg）