产品介绍
平板显示制造设备
US清洗机
利用超声波以非接触方式除去附在FPD上的污染物质的清洗设备。
特点・用途
通过干式清洗能将1.6μm的粉尘100%除去。 因为是干式清洗方式，不使用任何的水・药液。单面・双面都可清洗。
| 型号 | USC・USH系列 |
|---|---|
| 用途 | LCD,OLED,太阳能电池芯板制造 |
规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| Stage尺寸 | ～第10代为止都可对应 |
| Stage材质 | 各种都可对应(Ceramic) |
| Pin材质 | 各种都可对应 |
| Pin驱动方法 | CAM机构的脉冲电机PULSE MOTOR |
| 顶销行程 | 50mm～105mm(固定） |
| 吸附Pad | Φ15mm VITON制 |
| Stage驱动 | BALL SCREW + AC SERVO MOTOR |
| Stage速度 | 5～600mm/sec |
| 设定方法 | 触摸屏内数字设定 |
| 干洗头 | 厂家可选 |
| 干洗头宽幅 | 有効长+α |
| 基板厚度测定 | 可设 |
| VCR | 选项 |
| 对位机构 | 选项 |
| 除静电 | 选项 |