产品介绍
平板显示制造设备
光配向基板搬送设备
在光配向工序紫外线光照射下以一定速度搬送基板的设备
特点・用途
高精度的偏航特性
| 型号 | PA系列 |
|---|---|
| 用途 | FPD |
规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 搬送速度 | 5～500 mm/sec. |
| 驱动方式 | 直线马达（或滚珠丝杆＋AC伺服马达） |
| Stage回転 | Harmonic齿轮＋AC伺服马达 |
| 角度补正精度 | ±0.01°以内 |
| 角度补正方式 | 通过CCD Camera图像处理、进行自动对位角度补正 |
| Stage走行精度 | ±0.5mm 以内（偏差±0.05mm以内） |
| 除静电対策 | 可设置Photo Ionizer、除电Bar |
| F.F.U. | ULPA、或HEPA设置可 |
| 偏光测定器 | 装设可能 |
| Stage冷却 | 另议 |
选项
※ 如有意请来电洽谈。