■特征

1.特征

・可用于维护涂布设备、贴合设备、测量仪器以及其他周边设备。

 

2.可用于维护涂布设备、贴合设备、测量仪器以及其他周边设备。

・1000级（ISO Class6）洁净室

・1000级（ISO Class6）洁净室

・ 可进行小批量生产