图片为AYM850S

简介

追求次微米级定位的超高精度平台

特点

• 高精确度：0.1μm（实际精确度）
• 长冲程：XY:+/-10mm,Θ:+/-49mrad
• 高负载：采用高推力线性马达
• 薄型、高刚性：UVWR方式（4轴驱动）

AYM850S 规格

项目	规格	备注
平台方式	UVWR方式
驱动方式	线性马达
冲程	Ｘ轴：+/-10mm、Ｙ轴：+/-10mm Θ轴：+/-49mRad
实际精確度	Ｘ轴：0.1μm、Ｙ轴：0.1μm Θ轴：0.7μRad	设计负载：400kg
平台尺寸	850×850×190mm	薄型

精度: 0.1μm分级进给（负载100kg）